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低温等离子体区技术工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约8eV的大量电子作用下，使通过处理设备的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。
在处理过程中，当有机气体进入等离子体体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室。反应室分成模块式管子区，每根管子的中央有一根放电极，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上，由电线至管壁产生放电现象。等离子体能够将喷漆废气中的污染物组分降解形成小分子的有机污染物，通过尾气末端活性炭吸附对等离子体降解产生的气溶胶进行进一步的吸附净化，从而达到废气净化的目的。
