效 能╲机 型 8x6 12x12 精度 XY Uxy =2 L/250μm (L:mm) Uxy =2.6 L/175μm(L:mm) 精度 Z U 2=3 L/150μm (L:mm) 重复性 XY 2μm 2.5μm 重复性 Z 2μm 加速度XY20”/s2 (500mm/s2) 加速度 Z 8”/s2 (200mm/s2) 速度 XY 10”/s (250mm/s) 速度 Z4”/s (100mm/s) 光学尺读值 1μm/ 0.5μm / 0.1μm 机 械 性 质 量测行程8”x6”x6”(200x150x150mm) 12”x12”x6”(300x300x150mm) 外观尺寸 LxWxH760x635x965mm LxWxH 1090x865x990mm 重 量 130lb (60kg) 270lb (125kg)床台荷重 15lb (7.5kg) 25lb (12kg) 床 台 表层电硬镀& 固定螺孔基座材质 铝合金 (选配：花岗岩)精密滑轨 XY：特殊轨道 Z：线性轨道移动控制 伺服：CNC，鼠标，下拉式控制。电 子 系 统 光学镜头 MotorizedZoom/ 12：1，17-410X Or 6.5：1，20-250X 影像 & 光源 超高解析/ 彩色系统—白色LED黑白系统—红色LED 软 体 InSpec for Win. 2000 几何软件计算机系统 1.2GHz / 256 MB Ram/Win. 2000/ CD-RW/网络卡使用环境 68℉ (20℃)/ 温度变化量：
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美国MicroVu Vertex 351 自动量测系统
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